アクティブ除振システムAIS™

●６自由度系制御のアクティブ電動空圧式除振システム

●共振点において振動の増幅は発生せず、最適な除振性能

●垂直面・水平面において、優れた位置精度

●装置内移動質量の加速・減速後の位置偏差及び整定時間の最小化。また整定時間が短いことによる、装置処理能力向上の貢献。

●高性能のリアルタイム制御

●PLC、CAN-Bus、コントローラー（１基）、高速電動空圧サーボ・バルブ（１基）が各自由度系に対応。

●各コントローラーに、マイクロ・プロセッサー、高精度位置・空圧・加速度センサーを搭載。

●取扱いが簡単なインテリジェントWin-Sniソフトウェアにより、AISの初期設定や動作の最適化・システム診断が可能。

●２つの異なる動作モードが、デジタルI/Oを使用するだけで簡単に選択可能：スキャニング・モード（振動に対して敏感な装置を除振する場合）、ローディング・モード（装置内で移動物体がある場合）。

●装置コントローラーからのフィード・フォワードの必要無し。

●電磁アクチュエータやリニア・モーターによって発生する熱や、電磁変動、高電力の消費無し。

高感度の測定、検査、リソグラフィー機器、レーザー機器、高精密電子顕微鏡、半導体装置等、強いダイナミックな力が発生する装置や機械において、最適な振動除去を行うことが可能です。

AISは、従来の電動空圧式位置調整システムを搭載した空気ばねで、除振効果が十分ではなく、整定時間が長くなってしまう装置にご使用頂けます。

１つは、精密機器を床面から伝わる振動から守ることができます。たもう１つは、機器本体内にて移動質量の加速・減速による強いダイナミックな力により発生する振動を最小限にすることにより、機器の性能を向上させることができます。加えて、整定時間を減らすことで、機器が運転を再開させるまでの時間の遅れを最小限にします。

AISは、PLC、CAN-Bus、１６ビットコントローラー、高速電動空圧サーボバルブ、BiAir垂直空気ばね、そしてHAB水平空気ばねで成り立っております。サイズは、垂直及び水平空気ばねに応じて選択が可能です。１基の１６ビットコントローラーと１基の高速電空サーボバルブが、１基（又は１組）の空気ばねに使用されます。AISは、最低３グループ（３自由度系）から最大６グループ（６自由度系）で機能します。１６ビットコントローラーは除振装置と同方向で、直接空気ばねに搭載するか、又は機器に搭載することが可能です。１６ビットコントローラー内部には、マイクロプロセッサー、位置センサー（分解能0.2µ）、加速度センサー（分解能8µg）、そして空気圧センサー（分解能0.2mbar）が搭載されています。各センサーからのシグナルと共に特別に開発された制御アルゴリズムを持ち、その結果高効率リアルタイムなコントロールが可能となり、またフィード・フォワードシグナルも必要といたしません。

１６ビットコントローラーはCAN-Busを経由してPLCに接続されています。PLCは標準RS-232を経由して、初期立ち上げそして診断のために、PCに接続することが可能です。PLCの第１の機能は、１６ビットコントローラーの管理及び監視です。加えて、PLCには診断用インプット・アウトプットがあり、例えば準備・移動完了・スキャニングモードからローディングモードへの移行、緊急停止等の管理や監視が可能です。

PLCはまた、デジタルI/Oを使用してスキャニングモードからローディンブモードへの移行をさせることが可能です。PLCはそれぞれの１６ビットコントローラーに対して必要なすべてのパラメータをダウンロードし、２種類ある動作モードを実行させることができます。２種類の動作モードがあることのメリットは、それぞれのモードに於いてシステムが最適化されるということです。例えば、スキャニングモードで危機が高感度の運転をしている場合、システムはとてもソフトでなければならなくなり、除振システムによって発せられる力が機器の性能に営業を与えるようなアグレッシブな状態であっては決してなりません。ローディングモードでは、位置精度と可能な限りの最短整定時間が最も重要な要素であり、硬く早くそしてアグレッシブなシステムが、最高のパフォーマンスをもたらします。

コントローラー６基、スキャニングモード、メンブラン空気ばねBiAirと水平空気ばねHABを使用

●水平方向固有振動数の調整が可能

●水平方向減衰性能の調整が可能

●低い固有振動数かつ高性能の除振性能

●スティックフリップまたヒステリシスが無く、摩擦無しの動作

●AIS™システムとして使用の場合、共振点において振幅の増幅は無し

●高減衰性

●短い整定時間

●優れた位置精度

空圧式水平除振装置HAB™は、主に円筒型カバーとハウジングとで構成されています。空気チューブが２つのハウジングに接続されており、ハウジング間に起こる相対運動に対して、反対方向に水平力が発生します。HAB™の水平力や固有振動数は、空気チューブ内の空気圧力を変えることにより調節が可能です。特注のエア・ベアリングが垂直荷重に対して作用し、カバーとハウジングとの間で全く抵抗の無いスムーズな水平移動を可能にしました。